真空炉真空系统的操作方法
2022-06-10 13:55:39
西安特鲁门
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真空炉真空系统的操作方法
我们知道真空炉的使用是通过一定方式，使物料在一个真空环境下做加热操作，而真空环境地形成就需要真空系统来完成了，为了更好地使用，使设备完全发挥作用，下面我们一起看下它的真空系统是如何操作的？
真空炉真空系统的操作方法
罗茨泵启动，打开前级阀，关闭主阀和预抽阀，用按钮启动机械泵，当低真空规管测量的真空度高于罗茨泵入口真空度时，比如小于2kPa，启动罗茨泵。
真空炉真空系统的操作方法
预热扩散泵，主阀和预抽阀仍处于关闭状态，前级泵机组对扩散泵抽真空，当低真空规管测量扩散泵前级真空度高于规定值时，比如小于7Pa,启动扩散泵加热器。
真空炉真空系统的操作方法
预抽炉内真空，先关前级阀，并停止罗茨泵，稍后打开预抽阀对炉内抽真空。炉内真空度抽到高于罗茨泵入口真空度时，再启动罗茨泵。前级泵机组对炉内抽气，使之达到预抽真空度。
真空炉真空系统的操作方法
抽高真空，真空炉内真空度达到或高于规定值，且扩散泵加热时间到，先关预抽阀，然后开高真空阀，对炉内抽高真空，直到高真空规管测得的炉内真空度达到或高于工作真空度，才进行下一步操作。真空系统的关闭步骤相对比较简单，当炉子温度减低到可关真空系统的要求时，关闭主阀，接着关闭扩散泵加热器，但前级阀不能关闭，前级泵机组仍然工作，直到扩散泵加热器冷却时间到，才依次关闭前级阀和前级泵机组。
真空炉真空系统的操作方法
真空及水冷却循环系统接入现有设备，预留对接口及配置接口所用元件，循环水系统配备两组回进水装置，要求能过滤进水，冷却水管采用快插式接口。水、气系统与控制系统相连，真空或水压低于设定值声光报警平传输主控界面。