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真空炉真空系统的操作方法

2022-06-10 13:55:39 西安特鲁门 4888

       真空炉真空系统的操作方法

我们知道真空炉的使用是通过一定方式,使物料在一个真空环境下做加热操作,而真空环境地形成就需要真空系统来完成了,为了更好地使用,使设备完全发挥作用,下面我们一起看下它的真空系统是如何操作的?

真空炉真空系统的操作方法

罗茨泵启动,打开前级阀,关闭主阀和预抽阀,用按钮启动机械泵,当低真空规管测量的真空度高于罗茨泵入口真空度时,比如小于2kPa,启动罗茨泵。

真空炉真空系统的操作方法

预热扩散泵,主阀和预抽阀仍处于关闭状态,前级泵机组对扩散泵抽真空,当低真空规管测量扩散泵前级真空度高于规定值时,比如小于7Pa,启动扩散泵加热器。

真空炉真空系统的操作方法

预抽炉内真空,先关前级阀,并停止罗茨泵,稍后打开预抽阀对炉内抽真空。炉内真空度抽到高于罗茨泵入口真空度时,再启动罗茨泵。前级泵机组对炉内抽气,使之达到预抽真空度。

真空炉真空系统的操作方法

抽高真空,真空炉内真空度达到或高于规定值,且扩散泵加热时间到,先关预抽阀,然后开高真空阀,对炉内抽高真空,直到高真空规管测得的炉内真空度达到或高于工作真空度,才进行下一步操作。真空系统的关闭步骤相对比较简单,当炉子温度减低到可关真空系统的要求时,关闭主阀,接着关闭扩散泵加热器,但前级阀不能关闭,前级泵机组仍然工作,直到扩散泵加热器冷却时间到,才依次关闭前级阀和前级泵机组。

真空炉真空系统的操作方法

真空及水冷却循环系统接入现有设备,预留对接口及配置接口所用元件,循环水系统配备两组回进水装置,要求能过滤进水,冷却水管采用快插式接口。水、气系统与控制系统相连,真空或水压低于设定值声光报警平传输主控界面。

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